• 產(chǎn)品展示

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    • TMC主動(dòng)空氣隔振調平系統

      TMC主動(dòng)空氣隔振調平系統,PEPS II建立在TMC的*利PEPS(精密電子定位系統)基礎上并對其進(jìn)行了改進(jìn)。通過(guò)添加新的數字控制器,PEPS II更易于使用,提供了更多功能,還有一個(gè)改進(jìn)的用戶(hù)界面。

      更新時(shí)間:2024-05-22

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    • TMC主動(dòng)空氣消振器

      TMC主動(dòng)空氣消振器,Electro-Damp®是第一款專(zhuān)門(mén)用于提高半導體制造應用中的吞吐量、分辨率和產(chǎn)量的商用主動(dòng)隔振系統。Electro-Damp II是對原始系統的*全重新設計,增加了模塊化、數字控制、前饋、高力/高間隙執行器以及多個(gè)專(zhuān)門(mén)設計用于OEM應用(如顯微光刻、檢測和計量工具)的數字用戶(hù)界面。

      更新時(shí)間:2024-05-23

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    • TMC空氣隔振器

      TMC空氣隔振器,TMC氣動(dòng)隔振系統是追求高隔振性能的超精密儀器的工具設計師的*選解決方案。TMC現在提供行業(yè)標準的GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™隔振器,它們有不同的承重能力、阻尼水平和調平版本可供選擇,適合各種應用。

      更新時(shí)間:2024-05-22

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